LMG2A系列直线电机
最大行程
以线性滑轨或空气轴承架构之定位平台
良好接地设计防止噪声干扰
Z向震动可达奈米等级以下
最大速度可达
标准重现精度1um或以下
位置回馈系统分辨率最低可达50nm
深圳市隆创盛科技有限公司 |
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