LMX2E 系列直线电机
产品分类： 线性伺服马达驱动的X-Y平台
半导体设备
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太阳能制造设备
PCB设备
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钻石切割产业
AOI检测设备
工具机
订购热线：400-688-9636
直线度可达10um
X轴最大
以线性滑轨架构之定位平台
良好接地设计防止噪声干扰
Z向震动可达奈米等级以下
最大速度可达
标准重现精度1um或以下
位置回馈系统分辨率最低可达50nm
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深圳市隆创盛科技有限公司 |
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